物理与工程

2025, v.35;No.228(04) 206-220

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多元二维微结构的制作方法及对其进行衍射测量与验证的系统
THE FABRICATION METHOD OF MULTI-DIMENSIONAL TWO-DIMENSIONAL MICROSTRUCTURES AND A SYSTEM FOR DIFFRACTION MEASUREMENT AND VERIFICATION

刘会玲,赵云芳,韩星星,牛海波,石鲸,赵蓓

摘要(Abstract):

在自然界中,多元多维结构更为普遍,这些不同类型的多元微结构,使材料表现出不同的物性,其衍射图样也表现出显著的差异,但这些微结构不容易采集,衍射图不容易得到。本文利用CAD精确设计且利用精度0.01mm的精密激光打孔机制作了4类共12种二维周期和无序微孔结构,分别为:大小不同的圆孔二维周期结构3种以及形状不同的二维周期结构3种、二维六孔结构(苯环结构)3种、二维无序分布结构3种。本文还推出了12种结构衍射光强表达式,为软件编程提供了理论依据。然后通过实验测量和Matlab编程仿真两种方式得到衍射图案,验证并对比其衍射图,从而研究其夫琅禾费衍射特点,并测量结构参数。本文提供的多元二维微结构的制作方法及对其进行衍射测量与验证的系统,可在普通环境下进行精密的衍射测量与验证,为研究各种微结构、晶体结构及非晶体结构提供低成本、低实验环境要求的研究方法。

关键词(KeyWords): 夫琅禾费衍射;傅里叶变换;多元二维微结构;Matlab

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 陕西省教育科学“十四五”规划2021年度课题(SGH21Y0425);; 西安交通大学城市学院第十一批教改项目(111006);西安交通大学城市学院第二批课程思政专项研究项目(KCSZ02036);西安交通大学城市学院第二批课程思政示范课程和教学团队项目(KCSZSF2306)

作者(Author): 刘会玲,赵云芳,韩星星,牛海波,石鲸,赵蓓

参考文献(References):

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