郑庆华,赵旺,童悦,吕兆承

• 1:淮南师范学院电子工程学院

摘要(Abstract)：

本文介绍了一种基于迈克耳孙干涉技术的位移测量系统,给出了系统的组成、工作原理及理论依据;采用条纹细分、激光稳频、公式修正减少了可能的误差来源;用角锥棱镜取代平面镜,及平衡电桥电路设计和相敏检波技术,有效地提高了系统的抗干扰性和稳定性;具有光路简单、精确度高、成本低的特点,有一定的应用前景和学术参考价值.

关键词(KeyWords)： 迈克耳孙干涉仪;干涉技术;相位调制;测量系统

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 安徽省教育厅重点项目号:KJ2016A673;; 校级重点项目号:2015xj11zd

作者(Author): 郑庆华,赵旺,童悦,吕兆承

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