微机电系统与微加速度计MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS AND MICRO-ACCELEROMETER
张霞
摘要(Abstract)：
本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统 ,以及一种典型的微机电系统器件———微加速度计
关键词(KeyWords)： 微机电系统;微加速度计;力学
基金项目(Foundation):
作者(Author): 张霞
参考文献(References)：
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