X光激发氮氧化铝膜层电子特征能量探测与分析THE PROBE AND ANALYSIS OF THE CHARACTERISTIC ENERGY OF ELECTRON IN AlN x O y FILMS EXCITED BY X RAY
刘漪,陈萦,刘芬
摘要(Abstract):
本文报告了用X光电子能谱法(XPS)对氮氧化铝/铁膜内层电子特征能量的探测与分析,获得了膜层中不同深度的元素成分及化学结构.结果表明:XPS方法是研究氮氧化铝选择性吸收膜的有效方法.
关键词(KeyWords): X光电子能谱;氮氧化铝;特征能量
基金项目(Foundation):
作者(Author): 刘漪,陈萦,刘芬