王培霞,贾育秦

• 1:太原科技大学
• 2:太原科技大学 山西太原030024
• 3:山西太原030024

摘要(Abstract)：

本文简述了微机电系统(MEMS)在各领域的广泛应用,以物理学观点出发分析研究了MEMS器件设计中互相关联的多物理场耦合问题.指出新技术学科存在于物理学发展本身,物理学是MEMS和许多交叉科学发展的坚实基础.

关键词(KeyWords)： 物理学;耦合场;微机电系统;交叉学科

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 王培霞,贾育秦

参考文献(References)：

• [1]　林宋,刘杰生等.微机电系统设计与制造.北京:化学工业出版社,2004
• [2]　王立鼎,吴一辉.中国机械工程,1999,10(2):121~122
• [3]　袁哲俊.制造技术与机床,2004,(8):21~31
• [4]　钟志华,杨济匡.中国机械工程,2000,11(1~2):234~237
• [5]　毕树生,宗光华.中国机械工程,1999,10(9):1024~1027