物理与工程

2008, No.125(03) 30-33+51

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浅谈光学元件的几种清洗技术
PLAIN TALK OF THE TECHNIQUE IN CLEANING OPTICAL COMPONENTS

许将明,韩翔

摘要(Abstract):

本文主要综合比较了几种光学元件清洗方法的优缺点,得出了激光清洗技术是目前最为理想的清洗技术的结论.同时,我们对激光清洗技术的机理和发展前景作了较为详尽的说明.

关键词(KeyWords): 光学元件清洗;激光清洗技术综合

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 许将明,韩翔

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