许世军

• 1:西安工业学院数理系!西安710032

摘要(Abstract)：

针对当前应用较为广泛的各种薄膜厚度测控技术，简明介绍了光电极值法、干 涉法、石英晶体振荡法及椭偏仪法的物理原理及其应用．

关键词(KeyWords)： 膜厚测控;极值法;干涉法;石英晶体振荡法;椭偏仪法

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 许世军

参考文献(References)：

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